真空除氧器是在低于大气压力下进行工作的，进水温度45～60℃，经软化的水由除氧给水泵送至除氧头的进水喷嘴，水在进水压力下被雾化，喷洒到除氧塔中，由于雾状水滴具有较大的表面积，即有利于汽水之间的热交换，又有利于气体的分离逸出，达到除氧的目的。经除氧的水继续下流时，与下面的填料层接触，并形成水幕，提高了除氧效果。
（2）除氧水箱
    　　除氧水箱里的水处于其饱和压力下，沸腾状态下的水一部分蒸发，于残留在水中的气体一起被抽气管抽走，再次深度除氧，完成除氧过程。*后除氧水就储存在水箱中。
（3）抽真空装置
    　　在真空除氧系统中，保持除氧器内的一定真空度，把溶解于水中的气体和随气体一同逸出的未凝结蒸汽抽出，抽真空装置是关键部件，该装置主要由循环水泵、水喷射真空泵（射水抽气器）和循环水泵组成。循环水用自来水供给，其水温应比除氧器的软化水温度低6-10℃以上（≤35℃）。
（4）除氧水箱水位自控装置
    　　为了保证除氧器在正常工作条件下安全运行，除氧水箱设有水位自动控制装置。该装置主要有液位计、传感器组成，当水位超过*高或*低水位极限时自动报警。